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这可是花了14000亿的大项目,蓝书瑶当然也要见识一下,立刻道,“我也去!”
她不仅自己去,还叫了秦书勉,“他昨晚还跟我嘀咕,实验室那边没有EUV光刻机,55nm芯片生产不出来。现在好了,咱们自主研发成功了。”
他们到的时候,秦书勉已经到了。
江雨彤佩服得不成,“你的速度也太快了吧?”
秦书勉指了指北面,“我刚好过来这边谈项目,接到电话,就直接过来了。走!咱们快去看看。”
一行人到了科学院实验室门口,不是所有人都能进去。因为这个实验室是无尘车间,人是无尘车间最大的污染源,每天代谢脱落10亿个皮肤微粒,都会对机器产生影响,必须穿入场服隔离,无尘车间内的空气要比外面干净10倍。
江雨彤让蓝书瑶在外面等候,“以后有机会再看。”
蓝书瑶心里有些失望,但面上没有露出来,“没关系。你们去看也是一样的。”
谭恩林指了指隔壁,“那边有监控,高清镜头,可以看到一切。”
蓝书瑶眼睛一亮,“好,我去那边。”
江雨彤、谭恩林以及秦书勉三人换上整套入场服:头罩、无尘服、袜子、鞋子、口罩以及手套。
全副武装后,谭恩林带领两人进入无尘车间。
这里摆放着一个巨大的机器,它重达180吨,单台设备里超过100000个零件、40000个螺栓以及3000多条线路,软管加起来就有两公里长。
也难怪这样一个机器需要2000个工程师维修。
谭院士做实验给他们看。这一部相当于把沙子变成CPU。
谭院士将12寸晶圆上面涂抹了光刻胶,这样具有光敏感性,光刻机发出的光投射通过具有图形的光罩并对感兴硅圆曝光,晶圆上的光刻胶见光后会发生性质变化,从而使光罩上的图形复印到薄片上,从尔蚀刻出电路。
这个过程说起来很简单,实际上超级复杂。因为机器的精度控制需要极高的工艺水平,也许差了几nm就可能导致报废。
在谭院士操作的时候,江雨彤和秦书勉只在边上观看,并不说话。
等他操作完成后,经过光刻机这一步后,晶圆形成一个个小格,也就是晶粒。需要将它测试,合格的留下,不合格的舍弃。
接下来就是封装及再次测试,最后再包装。
当然这剩下的测试、封装和包装需要拿到别的实验室操作。
从无尘车间出来,谭院士将晶圆测试、封装、包装成芯片,让他们测试性能。
良品率达到95%,新机子,刚调过,这样的误差非常好。
江雨彤见秦书勉点头,她脸上再也控制不住笑起来,“那我们什么时候可以量产?”
“量产没问题,只是需要时间罢了。当初签好的合约,你们实验室优先生产权。但是你们需要送人才过来培训。这台机子每隔一段时间需要重新调试,售后是非常重要的。我们这边可以免费培养,到时候教他们组装机子。”
江雨彤指了指那个无尘车间,“那它?”
谭恩林摇头,“这个是实验品,不卖的。”
江雨彤头疼,“那什么时候还能再生产一台出来?”
“一台台生产太慢了。如果你们量产的话,最好一次性多生产几台。”谭院士想到一个关键问题,“你们的无尘车间建好了吗?”
秦书勉点头,“之前有一台EUV光刻机,您不是去用过吗?它的系统已经被M国关闭,不能用了,我们已经把机子还给了对方,无尘车间就空了下来。你们再建的话,就直接建在那车间吧?也省得来回运了,麻烦。”
他顿了顿,“不过你一次要量产那么多,我得再建几个车间。”
谭恩林点头,“可以。所以你们接下来就是建车间,招人才。如果遇到不会的,可以随时问我们。”
江雨彤明白这个道理。谭恩林毕竟是国家的科学家,研发完光刻机,还得研发别的项目,不可能一直给他们做售后。
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