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056 三款高科技展品全部来自龙芯（第2页）

这次ces电子消费展，夏国三件展品竟然来自同一家企业。

其实，

他们不知道的是，

不仅来自同一家企业，

还出自同一个人的手笔。

……

很快。

刘主任得到这个消息，欣喜若狂，

马打电话过来通知，

当王爱国进来向他汇报的时候，

叶龙丝毫没有感觉到惊讶，

他提交的两份方案书，选很正常，选不才值得让人惊讶呢。

经过这几天的努力科研，

光源系统他终于搞定。

他研发的这款euv光刻机，使用的光源模块比起世界任何一种都要先进。

只要对光刻机有一定了解的都知道，

euv光刻机又叫做极紫外光光刻机。

之所以如此命名，

就是因为荷国阿斯麦公司研发的euv光刻机，使用的光源就是极紫外光。

这种光源非常独特，

波长短，

能量足够，

曝光均匀。

最重要的一点，

就是波长短！

这一点尤为重要，

几乎决定euv光刻机的水准！

波长越短，可曝光的特征尺寸就越小;

用白话来解释，

波长越短，就表示光刻的刀锋越锋利，能够实现的电路图尺寸也就越小。

可见光，g线:436n

紫外光（uv），i线:365n

深紫外光（duv），krf准分子激光:248n，arf准分子激光:193n

极紫外光（euv），10~15n

以这四种类型，是光刻机光源模块采用的四种光源。

前面三种类型的光源，夏国已经全部掌握。

只有第四种，

极紫外光，难度极高，

目前为止也只有米国掌握。

荷国光刻机巨头，阿斯麦公司，

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